泰晶科技用于光刻工程的高精度配套设备取得新突破

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  • 发布者:qkl80
  • 发布日期:2021-05-26
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证券时报e公司讯,泰晶科技消息,公司最新研制的用于光刻工程的高精度配套设备—全自动晶圆调频及测选机,近日又取得新突破,该设备适用于光刻晶圆频率调整及分测,配合基于半导体技术的光刻制程量产及质量提升。这一设备的研制成功,不仅填补了行业空白,而且保证了关键性技术的保密性,为公司正在进行的大规模扩产提供了更优的方案。

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