湖南大学展示纳米尺寸垂直晶体管原型器件

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  • 发布者:qkl71
  • 发布日期:2021-05-07
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证券时报e公司讯,记者7日从湖南大学获悉,刘渊教授团队使用范德华金属集成法,成功展示了超短沟道垂直场效应晶体管,其有效沟道长度最短可小于1纳米。垂直晶体管具有天然的短沟道特性,其研发有望作为一种全新的器件微缩方向。如能通过进一步研究将真正的沟道物理长度缩小至10纳米甚至5纳米以下,未来将可能不再依赖传统的高精度光刻技术和刻蚀技术。(新华社)

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